平面內(nèi)諧振式直拉直壓微懸臂梁結(jié)構(gòu)及制備方法專利登記公告

專利名稱：平面內(nèi)諧振式直拉直壓微懸臂梁結(jié)構(gòu)及制備方法

摘要：本發(fā)明提供一種平面內(nèi)諧振式直拉直壓微懸臂梁結(jié)構(gòu)及制備方法。其中，所述微懸臂梁結(jié)構(gòu)包括：懸臂梁區(qū)、連接在所述懸臂梁區(qū)一側(cè)的質(zhì)量塊區(qū)、及連接在所述懸臂梁區(qū)另一側(cè)的參考電阻區(qū)，其中，所述懸臂梁區(qū)包括：相互分離的主懸臂梁、驅(qū)動(dòng)微梁和敏感微梁，其中，驅(qū)動(dòng)微梁作為驅(qū)動(dòng)電阻，與驅(qū)動(dòng)電源連接，敏感微梁作為敏感壓阻，與所述參考電阻區(qū)所具有的多個(gè)電阻區(qū)共同形成電橋；所述驅(qū)動(dòng)微梁與敏感微梁的寬度均遠(yuǎn)小于主懸臂梁的寬度。該結(jié)構(gòu)工作在平面內(nèi)諧振模態(tài)，通過激勵(lì)微懸臂梁的平面內(nèi)諧振模態(tài)可減少其在液體環(huán)境中工作的阻尼力，提高品質(zhì)因數(shù)，進(jìn)

專利類型：發(fā)明專利

專利號(hào)：CN201110072710.1

專利申請（專利權(quán)）人：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：陶亦涵;于海濤;許鵬程;徐鐵剛;熊斌;李昕欣

主權(quán)項(xiàng)：一種平面內(nèi)諧振式直拉直壓微懸臂梁結(jié)構(gòu)，其特征在于包括：懸臂梁區(qū)、連接在所述懸臂梁區(qū)一側(cè)的質(zhì)量塊區(qū)、及連接在所述懸臂梁區(qū)另一側(cè)的參考電阻區(qū)，其中，所述質(zhì)量塊區(qū)包含金屬薄膜區(qū)及分別連接所述金屬薄膜區(qū)的兩連接梁；所述懸臂梁區(qū)包括：相互分離且與所述質(zhì)量塊連接的主懸臂梁、與一連接梁相連的驅(qū)動(dòng)微梁及與另一連接梁相連的敏感微梁；其中，用作驅(qū)動(dòng)電阻的驅(qū)動(dòng)微梁與用作敏感壓阻的敏感微梁的寬度均遠(yuǎn)小于主懸臂梁的寬度；所述參考電阻區(qū)包括多個(gè)電阻區(qū)，所述多個(gè)電阻區(qū)與所述敏感微梁共同連接成電橋。

專利地區(qū)：上海